多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀（ OPTELICS HYBRID+，三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡/三維表面輪廓儀 ），高度方向測量精度達(dá)0.05nm；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù)；以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能；通常多臺設(shè)備才能完成的測量，僅需一臺設(shè)備即可實現(xiàn)，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿足在各種測量場景中的測試需求。

• 提供6個測試功能模塊，應(yīng)對多樣測量需求

• 滿足行業(yè)測試規(guī)格要求，High精度

• 提供多種測量和分析

• 自動化測量技術(shù)，高效測量

1. 白光共聚焦

寬視野+High精度測量

高清彩色觀察

2. 激光共聚焦

高倍·High 分辨率觀察

搭載波長405nm的紫色半導(dǎo)體激光，無需前處理，以可媲美電子顯微鏡的High分辨率，鮮明捕捉納米級細(xì)微構(gòu)造。

3. 微分干涉測量

納米級凹凸觀察

共聚焦與微分干涉（DIC）相結(jié)合，實現(xiàn)細(xì)微凹凸形狀的可視化。由于焦點深度極低，對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進(jìn)行觀察。

4. 垂直白光干涉測量

數(shù)毫米寬廣視野內(nèi)的納米級形狀測量

白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉波形，通過垂直方向掃描找到干涉光強(qiáng)度高點，得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上，高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響，因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。

5. 反射分光膜厚測量

納米級透明膜厚測量

利用波長切換功能對6個波長的絕對反射率進(jìn)行測量，光學(xué)建模計算得到膜厚。數(shù)nm～1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上定義，亞微米區(qū)域～全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測量。而且因各個像素(pixel)的膜厚能夠計測，所以可以測量膜厚分布。

6. 相差干涉測量

埃米級形狀測量

白光通過雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉條紋，與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關(guān)。在垂直方向細(xì)微移動得到4組干涉圖像，通過解析實現(xiàn)高分辨率的高度分布測量。

多種波長切換

測量速度快