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波前曲率傳感器/壓電驅(qū)動微動平臺，裝配CCD相機，光束方向快速移動，臨近位置光束剖面/形貌分析，波前推導CCD像素級分辨，光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑），Zernike分析畸變控制，采用自我參考法，無光束相干要求，緊湊式設計，在線檢測。

EUV/XUV波前傳感器又稱Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射），緊湊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)光化性能檢測，包括EUVL等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束，實時光學調(diào)整。

Shack-Hartmann 波前傳感器/波前分析儀是專用于激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預測以及光束質(zhì)量因子M²的確定，從同時記錄強度和相位分布光束質(zhì)量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。

UV光束分析儀/UV激光光束質(zhì)量分析儀可實現(xiàn)高分辨率實時空間光束的監(jiān)測、定量表征與強度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，檢測器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV檢測的高靈敏度。

UV紫外/EUV極深紫外激光光束質(zhì)量分析儀可實現(xiàn)高分辨率實時空間光束的監(jiān)測、定量表征與強度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV/EUV檢測的高靈敏度。